Innovative Ventiltechnologie der Series E auf der Semicon Europa
Die Turbomolekular-Vakuumpumpen HiPace 3400 IT von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions wurden speziell für anspruchsvolle Anwendungen der Ionenimplantation entwickelt und sind die kompaktesten Turbopumpen ihrer Klasse. Bei denTORRI BD 0100/0600von Busch Vacuum Solutions handelt es sich umölfreie mehrstufige Drehkolben-Vakuumpumpen. Sie bieten kurze Abpumpzeiten für Schleusenkammern und zeichnen sich dadurch aus, dass sie klein, leicht und energieeffizient sind. Die thermische Abgasreinigungstechnologie von centrotherm clean solutions kombiniert die Vorteile der Verbrennung miteiner elektrisch beheizten Abgasbehandlung und bietet eine nachhaltige Lösung mit minimalem CO-Fußabdruck für CVD- und Metallätzprozesse.
Als besonderes Highlight wurde auf der Messe das neue ProduktSeries Evon Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions vorgestellt. Mit herausragender Steuerung, Energieeffizienz und Zuverlässigkeit sowie erheblichen Kosteneinsparungen setzen diese elektrischen Eckventile für Hochvakuumanwendungen einen neuen Industriestandard. Die Series E bietet ein erstklassiges elektrisches Antriebssystem, das auf Präzision und Robustheit ausgelegt ist. Der eingebaute\“Failsafe-Mechanismus\“gewährleistet das Schließen des Ventils bei Stromausfall. Bei Wartungsarbeiten ermöglicht der lokale Modus den Betrieb vor Ort. Dies reduziert die mechanischen Belastungen und sorgt für eine gleichbleibende, sichere Leistung.
Die Ventile arbeiten im Bereich von 10-3 bis 10-9 mbaräußerst zuverlässig. Der mit 24 V DC betriebene hocheffiziente elektrische Antrieb und die robuste Elastomerdichtung stellen eine hohe Lebensdauer sicher. Der rechtwinklige Aufbau erleichtert die Integration und verbessert die Systemkompatibilität und Benutzerfreundlichkeit.
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